超净高纯双氧水生产技术与装置开发成功

    该项目开发的技术可广泛应用于微电子化工材料分离与纯化，尤其是超大规模集成电路（0.09～0.2μm技术）用超纯电子化学品。超净高纯双氧水作为电子工业硅片清洗剂、印刷电路板的刻蚀剂，是电子工业不可缺少的精细化学品。目前，国内集成电路生产的电子级双氧水无论质量和数量都不能满足电子工业的需要，主要依赖进口。

    我公司是国内第一家采用石英玻璃材质生产化学试剂、精细化学品精馏装置的高科技企业，经过二十多年的生产实践，开发、研制出二十多种产品、五十多种型号规格的超纯电子化学品精馏装置，其中双氧水精馏装置分别有50t/a、75t/a、100t/a、120t/a等规格，其产品质量达到SEMIC12双氧水的标准，金属离子浓度≤0.1ppb，非金属离子浓度≤100ppb，颗粒≥0.5μm 25Pcs/mL。技术水平达到国际先进水平。